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SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光

SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光
ExLASER激光®
ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。

產(chǎn)品型號：EXL-CT-010-DS55
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-11-29
訪問量：484

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聯(lián)系電話：0755 29008188

產(chǎn)品詳情

SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光

ExLASER激光®

ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。

長處

可實現(xiàn)超快的溫度上升和下降。

一次均勻加熱 2 英寸基板

只有被加熱的物體才能直接加熱。

可根據(jù)工藝進行溫度控制

在不加熱大氣的情況下節(jié)能

應(yīng)用實例

MBE設(shè)備的基板加熱

晶圓退火（SiC、GaAS等）

可以對多層器件進行表面退火（與小型化器件兼容）

成就實例

日本原子能機構(gòu) 日本
激光功率：100W
尺寸：H251×W200×D253（mm）

激光加熱實驗

使用 EXL-CT-010DS55，對安裝在真空室中的樣品進行激光加熱。溫度分布是從樣品的背面（與激光照射表面相反）測量的。

1. 藍寶石襯底（φ2英寸） --- 應(yīng)用于透明襯底

溫度分布藍寶石襯底溫度分布

（激光功率：1000W）

藍寶石

襯底溫度快速升降（平均襯底溫度）（激光功率：1000W）

2. 溫度傾斜---組合光學的應(yīng)用

溫度分布金屬板溫度

分布
（激光功率：86W焦點）

溫度傾斜圖金屬板的溫度

標準規(guī)格

型號 EXL-CT-010-DS55
激光照射方式	直接型	機身尺寸	高 625mm ×寬 700mm ×深 320mm
激光功率	高達 1kW	附屬品	專用冷水機組
激光波長	808納米	額定	主機：1P200V20A 冷水機：1P200V15A
激光幾何形狀	廣場	額定	主機：1P200V20A 冷水機：1P200V15A
光學（均勻性）	均質(zhì)機（±5%）	言論	JST原創(chuàng)建模開發(fā)產(chǎn)品（FY17）
加熱區(qū)	□ 55mm
工作距離	400毫米~

* 以上為標準規(guī)格。可根據(jù)客戶要求進行更改。

**選項 * 我們將根據(jù)您的要求制造**

真空室
溫度控制單元 ?輻射溫度計 ?數(shù)字指示控制器

?紅外線傳輸窗口
PCB 支架（用于 2 英寸板）
用于組合專用基板支架的光學系統(tǒng)（與□10mm板兼容）
各種襯底（藍寶石、硅、砷化鎵等）

SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光

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SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光

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激光加熱實驗

1. 藍寶石襯底（φ2英寸） --- 應(yīng)用于透明襯底

2. 溫度傾斜---組合光學的應(yīng)用

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