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SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光

SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光
ExLASER激光®
ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。

  • 產(chǎn)品型號:EXL-CT-010-DS55
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-11-29
  • 訪  問  量:484
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聯(lián)系電話:0755 29008188

產(chǎn)品詳情

SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光

ExLASER激光®

ExLASER®是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。

長處

可實現(xiàn)超快的溫度上升和下降。

一次均勻加熱 2 英寸基板

只有被加熱的物體才能直接加熱。

可根據(jù)工藝進行溫度控制

在不加熱大氣的情況下節(jié)能

應(yīng)用實例

MBE設(shè)備的基板加熱

晶圓退火(SiC、GaAS等)

可以對多層器件進行表面退火(與小型化器件兼容)

成就實例

日本原子能機構(gòu) 日本
激光功率:100W
尺寸:H251×W200×D253(mm)

激光加熱實驗

使用 EXL-CT-010DS55,對安裝在真空室中的樣品進行激光加熱。 溫度分布是從樣品的背面(與激光照射表面相反)測量的。

1. 藍寶石襯底(φ2英寸) --- 應(yīng)用于透明襯底

溫度分布藍寶石襯底溫度分布


(激光功率:1000W)

藍寶石

襯底溫度快速升降(平均襯底溫度)(激光功率:1000W)

2. 溫度傾斜---組合光學的應(yīng)用

溫度分布金屬板溫度

分布
(激光功率:86W焦點)

溫度傾斜圖 金屬板的溫度

標準規(guī)格

型號 EXL-CT-010-DS55
激光照射方式直接型機身尺寸高 625mm ×寬 700mm ×深 320mm
激光功率高達 1kW附屬品專用冷水機組
激光波長808納米額定主機:1P200V20A 冷水機:1P200V15A
激光幾何形狀廣場
光學(均勻性)均質(zhì)機 (±5%)言論JST原創(chuàng)建模
開發(fā)產(chǎn)品(FY17)
加熱區(qū)□ 55mm
工作距離400毫米~

* 以上為標準規(guī)格。 可根據(jù)客戶要求進行更改。

選項 * 我們將根據(jù)您的要求制造

  • 真空室

  • 溫度控制單元 ?輻射溫度計 ?數(shù)字指示控制器


    ?紅外線傳輸窗口

  • PCB 支架(用于 2 英寸板)

  • 用于組合專用基板支架的光學系統(tǒng)(與□10mm板兼容)

  • 各種襯底(藍寶石、硅、砷化鎵等)

SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER激光

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